Towards automated AFM-based nanomanipulation in a combined nanorobotic AFM/HRSEM/FIB system
von Malte Bartenwerfer ; Sergej Fatikow ; Robert Tunnell
2011
Details anzeigen2011 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation (ICMA 2011) ; 1 Piscataway, NJ : IEEE, 2011 (2011), Seite 171-176 830 S.
Englisch