Institute of Electrical and Electronics Engineers IEEE transactions on instrumentation and measurement New York, NY : IEEE, 1963 68(2019), 3, Seite 782-790 Online-Ressource
International Conference on Industrial Engineering, Applications and Manufacturing (2019 : Sotschi) 2019 International Conference on Industrial Engineering, Applications and Manufacturing (ICIEAM) [Piscataway, NJ] : IEEE, 2019 2019, insgesamt 5 Seiten 1 Online-Ressource
Die Arbeit beschäftigt sich mit einer multimodalen Mikroskoptechnologie zur Untersuchung, Manipulation und zum Transport von Materialien und Objekten im Submikrometerbereich. Ein Rasterkraftmikroskop (AFM) ermöglicht die Abbildung der Oberflächentopographie und ein Rastermikrowellenmikroskop zeichnet elektromagnetische Eigenschaften auf, beide in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) operierend. Der beschriebene Technologiedemonstrator erlaubt es, die „Region-of-Interest“ mit dem REM live zu beobachten, während gleichzeitig eine Charakterisierung mit wechselwirkenden evaneszenten Nahfeld-Mikrowellen und intermolekularen Kräften erfolgt. <dt.>
The work covers a multimodal microscope technology for the analysis, manipulation and transfer of materials and objects in the submicrometer range. An atomic force microscope (AFM) allows imaging of the surface topography and a Scanning Microwave Microscope (SMM) detects electromagnetic properties, both operating in a Scanning Electron Microscope (SEM). The described technology demonstrator allows to observe the region-of-interest live with the SEM, while at the same time a characterization with interacting evanescent near-field microwaves and intermolecular forces takes place. <engl.>