9783832520359
Berlin: Logos-Verl.
V, 225 S. Ill., graph. Darst.
Zugl.: Oldenburg, Univ., Diss., 2008
HochschulschriftNanotechnologieMontageAutomationRasterelektronenmikroskopAbstandsmessungTaktiler SensorElektronenstrahlverdampfenAufdampfenElektronenstrahlbearbeitungSensorLängenmessungElektronenmikroskopRastermikroskopDatenverarbeitungMechanisierungAutomatisierungstechnikTechnischer FortschrittFertigungBestückenMikromechanikNanowissenschaften
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