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  49GBVUOB_ALMA5125336798000350149GBVUOB_ALMA51253367980003501//diglib.bis.uni-oldenburg.de/webservice/sru/?recordSchema=dc&query=49GBVUOB_ALMA51253367980003501
  Artikel
  Nano-granular layers for sensor applications fabricated by means of electron beam induced deposition

  von Waldemar Klauser ; Malte Bartenwerfer ; Patrick Elfert ; Jan Elmar Krauskopf ; Sergej Fatikow

  2016

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  Beteiligte Personen (Uni Oldenburg): Bartenwerfer, MalteElfert, PatrickKrauskopf, Jan ElmarFatikow, SergejKlauser, Waldemar ([2015-])

  Enthalten in: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (6. : 2016 : Duisburg) Micro-Nano-Integration [Piscataway, NJ] : IEEE, 2016 (2016), Seite 119-122 1 Online-Ressource

  Sprache: Englisch

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