Die Arbeit beschäftigt sich mit einer multimodalen Mikroskoptechnologie zur Untersuchung, Manipulation und zum Transport von Materialien und Objekten im Submikrometerbereich. Ein Rasterkraftmikroskop (AFM) ermöglicht die Abbildung der Oberflächentopographie und ein Rastermikrowellenmikroskop zeichnet elektromagnetische Eigenschaften auf, beide in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) operierend. Der beschriebene Technologiedemonstrator erlaubt es, die „Region-of-Interest“ mit dem REM live zu beobachten, während gleichzeitig eine Charakterisierung mit wechselwirkenden evaneszenten Nahfeld-Mikrowellen und intermolekularen Kräften erfolgt. <dt.>
The work covers a multimodal microscope technology for the analysis, manipulation and transfer of materials and objects in the submicrometer range. An atomic force microscope (AFM) allows imaging of the surface topography and a Scanning Microwave Microscope (SMM) detects electromagnetic properties, both operating in a Scanning Electron Microscope (SEM). The described technology demonstrator allows to observe the region-of-interest live with the SEM, while at the same time a characterization with interacting evanescent near-field microwaves and intermolecular forces takes place. <engl.>
IEEE MTT-S International Conference on Numerical Electromagnetic and Multiphysics Modeling and Optimization (5. : 2018 : Reykjavik) 2018 IEEE MTT-S International Conference on Numerical Electromagnetic and Multiphysics Modeling and Optimization (NEMO) Piscataway, NJ : IEEE, 2018 2018, inges. 4 S. 1 Online-Ressource
International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (1. : 2016 : Paris) MARSS 2016, Paris [Piscataway, NJ] : IEEE, 2016 2016, insges. 6 S. 1 Online-Ressource
International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Wave (41. : 2016 : Kopenhagen) 2016 41st International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz) [Piscataway, NJ] : IEEE, 2016 2016, inges. 2 S. Online-Ressource
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