Auch als elektronisches Dokument vorh ; Oldenburg, Univ., Diss., 2008
Hochschulschrift
Die Messung sehr kleiner Kräfte hat für zahlreiche Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie eine grosse Bedeutung, sei es beim Handhaben von Mikrobauteilen oder bei der Bestimmung der mechanischen Eigenschaften nanoskaliger Strukturen. Die Grundlage dieser Arbeit bildet eine detaillierte Betrachtung der Besonderheiten in der Mikro- und Nanowelt sowie Untersuchungen der spezifischen Anforderungen an die Kraftmessung in der Mikro- und Nanohandhabung. Verschiedene Kraftmessprinzipien zur Entwicklung von Mikrokraftsensoren wurden analysiert und geeignete Prinzipien bestimmt. Zur Evaluierung wurden mehrere Mikrokraftsensoren basierend auf einer widerstandsbasierten Dehnungs- und Spannungsmessung entwickelt und kalibriert. Zusätzlich wurde ihr Verhalten beim Einsatz im Rasterelektronenmikroskop untersucht. Durch die Integration ausgewählter Mikrokraftsensoren in mobile und stationäre Mikroroboter wurden drei Mikro- und Nanohandhabungsstationen mit Kraftrückkopplung implementiert. <dt.>
The measurement of very small forces is of great importance for different applications in micro- and nanotechnology. Examples therefor are the handling of microobjects or the determination of the mechanical properties of nanoscale structures. The basis of this work is a detailed examination of the characteristics of the micro- and nanoworld as well as a study of the specific requirements for force measurement in micro- and nanohandling. Different measurement principles for the development of micro force sensor have been analysed, and suitable principles have been chosen. Based on the measurement of a resistance change due to strain or stress, several micro force sensors have been built and calibrated. Additionally, their behaviour inside a scanning electron microscope has been investigated. By integrating selected micro force sensors into mobile and stationary microrobots different micro- and nanohandling stations with force feedback could be implemented. <engl.>
von Sergej Fatikow ; Volkmar Eichhorn ; Albert Sill ; Alex Steinecker ; C. Meyer ; L. Occhipinti ; Stephan Fahlbusch ; I. Utke ; Peter Bøggild ; J.-M. Breguet ; R. Kaufmann ; M. Zadrazil ; W. Barth
Optomechatronic systems control III / International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2007, 8 - 10 October 2007, Lausanne, Switzerland Bellingham, Wash., 2007
1. Aufl. Stephan Fahlbusch; Stefan Garnica; Olaf C. Hänßler; Helge Hülsen; Markus Kemper; Axel Kortschack; Aleksandr Shirinov; Torsten Sievers; Albert Sill; Tammo Trüper; Jörg Zenke,
2003
Microfactory - 3rd International Workshop on Microfactories, Minneapolis, Minnesota, USA, September 16-18, 2002, IWMF 2002 Minneapolis, Minn., 2002 S. 93 - 96
